洁净室高效过滤器(HEPA)安装与检漏要点
高效过滤器安装前应检查滤纸与密封胶有无运输损伤;安装时注意气流方向标识,密封条压紧均匀;安装完成后建议按 ISO 14644 要求做扫描检漏(PAO/DOP),
高效过滤器安装前应检查滤纸与密封胶有无运输损伤;安装时注意气流方向标识,密封条压紧均匀;安装完成后建议按 ISO 14644 要求做扫描检漏(PAO/DOP),确认无侧漏后再投入使用。更换下来的高效过滤器属于固废,应按当地环保要求处置。
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